UL3000 Fab 可移动式英福康氦气检漏仪

UL3000 Fab 可移动式英福康氦气检漏仪

UL3000 FAB ULTRA 的附加*性。

·较早地起始泄漏检查，由于HYDRO·S软件限制水蒸汽本底，使它有可能快速进入高灵敏的测量范围。

·快速抽空，由于对空气的高抽速。

·低使用成本(TCO)由于无需维护的罗茨粗抽泵。

低的运行和维护成本

维护费用低，使用寿命长:

·坚实耐用的真空系统

·加固的离子源,长达三年保修期

易于进入应用区域

·小型和坚实的结构,稳定和良好的移动性

·重心低，易搬运

·大胶轮,易于翻越障码物

典型的应用

■INFICON 检漏仪日常用于大型半导体生产中

■各种过程工艺包括:刻蚀.CVD,PVD,真空炉,离子注入，MOCVD,太阳能,FPD 等

■工艺维护后快速确认工艺的完整性和应修复的漏孔部位

■在次级生产中的真空管线和泵

■气柜和复杂的气体输送管线

■生产设施和治理

易检测大漏孔

可非常快地检测大漏孔,由于不再需要等待系统抽空。这得益于:

■大漏检测功能(专用的泵/阀组功能)

UL3000 Fab 可移动式英福康氦气检漏仪

您的泄漏检测解决方案专家

INFICON可为高度专业化行业中要求极为苛刻的真空过程提供权球岭先的测量和传感器技术及过程管理服务。特别是在制冷和空调技术,半导体制造和汽车生产等领域，INFICON的气体泄漏检测产品有着广泛应用。

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