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美国PMS颗粒仪

  • 产品型号:HPGP-101-C
  • 更新时间:2024-04-22

简要描述:美国PMS颗粒仪,HPGP-101-C PDS-E高压气体探测器,高科技制造工艺通常需要高纯气体。高压气体探测系统HPGP-101-C可在线压下为工艺气体提供可依赖的在线污染监测。

产品详情

美国PMS颗粒仪高科技制造工艺通常需要高纯气体。高压气体探测系统HPGP-101-C可在线压下为工艺气体提供可依赖的在线污染监测。

HPGP与大多数无毒气体兼容,可用于许多反应性气体监测应用中

PDS-E(粒子数据系统-以太网)收集和报告HPGP-101-C探测器捕获的数据。

 

优点:

降低成本

· 工艺气体分配系统的速度限定

· 在影响产量之前测定气体中的颗粒。

· 与氧,氢和大多数无毒气体兼容

 

改进过程控制:

· 验证气体质量

· 检测过程是否异常

· 量化系统变化的影响

· 准确的粒度

· 便利的网络数据管理软件,用于全面数据存储,管理,报告和警报

 

可靠性:

· 被动腔式设计不需要经常维护

· 与其他系统不同,HPGP不需要监测流体

· 惰性气体吹扫,确保安全

· 如气体泄漏到安全舱,切断电源

 

功能:

· 0.1 SCFM时具备0.1μm灵敏度

· 8个粒子通道

· 40-150 psig的线压

· 被动激光腔

· 并行处理阵列检测系统

· 安全舱

· 同时进行双重探测操作

· 氧气和氢兼容性

 

应用:

· 气体分配系统的限定

· 过程气体监测

· 反应性气体监测

 

美国PMS颗粒仪规格参数:

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我们是日本大为在中国的兄弟公司,目前国内半导体设备的厂商都是我们的客户。

我们的产品包括反应器/半导体设备/气柜/化学品柜制造中的部件、焊接设备、切割设备、耗材、检测设备、流体元件、五金配件等。

 

上海利布迪公司经营的产品和品牌包含但不限于:

流体元件:

日本富士金FUJIKIN,美国Aptech,韩国Unilok,以色列哈姆雷特HAMLET,美国Presair压力开关,以及洁净系列不锈钢管道等。

压力温度:

美国PalmerWahl 圆盘压力温度记录仪及温度计系列产品, 日本冈崎OKAZAKI超低温温度计等;

工业材料:

日本预磨钨针,专业供应用于美国世伟洛克Swagelok,美国AMI,德国欧比泰姆Orbitalum,美国眼镜蛇MK等自动焊机;V+V不锈钢材料,铜合金材料,半导体耗材等。

制造与检测:

半导体设备及配件,进口自动焊机,日本ACCESS PFA焊接机,无毛刺切割机,日本Lasertec激光显微镜,美国SIGHTPIPE管焊缝光学检查内窥镜,美国鹰眼HAWKEYE内窥镜,日本奥林巴斯内窥镜,日本VCR限流垫片/孔板,英福康INFICON氦检仪等。

 
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